更新日： 集計期間:2026年07月29日～2026年08月25日
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半導体製造装置の周辺機器に対して豊富な実績を持つ 修理・改善サービス をご提供しております。
アルクトス精密株式会社は、半導体製造装置およびその周辺機器に関する 設計・製作・改造・修理・販売をトータルサポート ロボット修理・オーバーホールサービス 純正部品使用／標準検査手順／短納期／低コスト／高信頼性と品質管理 各メーカー製搬送ロボットの分解点検、部品交換、オーバーホール対応 コントローラー修理・再調整 ウエハ搬送テストによる動作確認 新規ロボットの特注対応・カスタマイズ提案 設備・部品関連サービス カスタム設備設計・開発・改造：自動化設備の新規開発、既存設備の最適化 各社Parts販売：主要メーカーの純正・互換パーツを国内外に供給 真空部品／ベローズ／真空バルブのオーバーホール：真空環境機器の整備・修復 コントローラー、電源、PCBボード、RFジェネレーター、DC電源、マッチングボックス修理： 故障解析から動作確認まで一貫対応
空荷時の稼働時間は13時間以上で、満載時でも10時間以上の運行が可能です！
『ATS-20』は、半導体業界の効率的な物流を目的とした搬送ロボットで、 20個の収納スペースを搭載しています。 各収納スペースにはREIDセンサーが装備され、収納状況や収納されている ウェハボックスの情報をリアルタイムで監視し、正確な管理を確保。 また、レーザーSLAMに基づくナビゲーション技術を採用し、±10mmの高精度な 位置決めを実現し、輸送過程での正確なナビゲーションを保証します。 【特長】 ■20個トレイ収納スペース ■半導体業界向けの効率的な物流設計 ■多段階の安全保護システム ■レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション ■配置が容易で、複数協同作業に対応 ■長時間連続安定運転 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
搬送部の小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
強い製品調達力を使ってサポート！各種モーター・ドライバーなど取り扱い
当社では、半導体、液晶に使われる消耗パーツや 付帯設備のリペアパーツ供給を行っております。 国内外からのビジネスパートナーから強い製品調達力を使ってサポート。 搬送用ロボットやRF電源マッチャー、各種電源、各種モーター・ ドライバーなども取り扱っています。 【取り扱い主要品目(抜粋)】 ■搬送用ロボット ■各種電源 ■各種モーター・ドライバー ■ヒーター類各種 ■Y203など、各種コーティング ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ギヤ、ワイヤー等の特殊加工部品も、相当品を製作するなど可能な限り対応！
株式会社シィ・エィ・ティは、半導体製造工場で使用される 各種搬送ロボットのオーバーホール、修理業務のほか ロボットのコントローラーの修理を実施しております。 コントローラーがない場合でも、当社にてロボットの構成等や 各種計測器を使用してロボットの制御方法等を解析し、 コントローラーを製作いたします。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
